超精密加工

ナノレベル加工室と超精密測定で、光学素子の金型駒をつくる

レンズをはじめとした光学素子用の金型駒や、ナノレベルの精度が求められる超精密部品を製造しています。防振・恒温ブースを完備し、安定した超精密加工が可能です。UA3P や Zygo など多種の超精密測定装置で精密測定を行い、品質を保証します。検査・測定データの提出にも対応します。

2003年に経済産業省の戦略的基盤技術支援事業の委託を受け、ナノ加工超精密金型の開発プロジェクトを開始しました(2006年・2009年にも受託)。2013年には本社工場内にナノレベル加工室を設置しています。東京大学・中部大学・理化学研究所との共同研究にも取り組んでいます。

超精密加工機 ULG-100D
真円度の測定

対応範囲と体制

加工設備
超精密加工機 UVM-450C・ULG-100D
加工環境
ナノレベル加工室(2013年設置)・防振・恒温ブース
測定
UA3P・Zygo など多種の超精密測定装置。検査・測定データの提出に対応
研究開発
経済産業省 戦略的基盤技術支援事業(2003年・2006年・2009年受託)/東京大学・中部大学・理化学研究所との共同研究

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